真空断路器的真空灭弧室具有较高的真空度要求，检修现场较难达到，因此一般不要求作解体检修。除真空灭弧室外主要是操作机构和传动机构的检修。常用的10KV真空断路器中其操作机构以常见的电磁操作机构为多，从检修管理来说，主要是掌握断路器的检修周期，跳闸次数，耐压强度，触头的电磨损和其他技术数据，以保证断路器的安全运行。
       一、灭弧室真空度的鉴定和调换
       真空灭弧室真空度直接关系到断路器的绝缘和灭弧性能。平时要正确定量判断灭弧室的真空度是困难的，通常采用的方法是通过规定的工频耐压值来定性的判断真空度合格与否。当发生疑问而不能判断时，可适当减小触头开距，通过相与相之间的耐压值来比较进行判断。
       当真空灭弧室处于下述任一情况时，均应予以更换。
       1、真空度明显下降或不能耐受规定的工频试验电压。
       2、灭弧室的机械寿命已达到额定植。
       3、动、静触头的磨损量已达到规定值。
      4、灭弧室受到损伤已不能正常工作。
       当更换工作结束后，应对设备的有关装配尺寸、断路器的行程、超程、开距进行测量，不合格的应予以调整，而后进行工频耐压试验。
        二、灭弧室数据测量
       真空灭弧室检修中需经常测量的数据主要有开距、超行程、总行程以及三相触头同期性和动静触头的磨损量等。
       由于真空断路器的触头结构不同于其他介质断路器的触头结构，所以真空断路器的开距、超行程、总行程以及三者之间的关系也有不现的概念。测量时应注意所选择的测量点的位置，如果选测点在触头弹簧运动方向的灭弧室侧，则该测量点在断路器分、合闸过程中的位移，反映了断路器动触头的行程，即真空断路器的开距。如果测量点选在操作机构侧，则该测量点在断路器分、合闸过程中的位移，反映了操作机构的输出行程，即真空断路器的总行器。而触头弹簧本身在分、合闸过程中，被压缩的行程，反映了断路器总行程和开距的差值，也即真空断路器的超行程。
       三、检查与校验
       除灭弧室外真空断路器的检查主要可分为二个方面，即机械结构部分的检查和电气部分的检查。
       机械结构的检查主要有灭弧室的固定情况，分闸弹簧和触头弹簧的变形情况，操作机构的配合尺寸和机械运动部分的灵活性等。电气部分的检查主要是分合闸线圈直流电阻的测量和对地绝缘电阻的测量，分合闸电磁铁的灵活性和动作电压的校验，辅助开关的接触状况检查以及合闸接触器的检修，绝缘提升杆的绝缘电阻等电回路连接的紧固情况等。这些工作的方法与油断路器的检修是相似的。
        配有电磁操作机构的真空断路器分闸动作电压的校验是非常重要的。因为真空断路器常使用于频繁操作场所，使其操作机构因振动、磨损等因素容易发生故障。处理缺陷时，特别是在发生好合不上、断不开的情况下，在按标准调整配合尺寸的同时，应辅以分闸动作电压的校验，以取得良好的效果。